抽氣速率測量裝置如圖所示。為了測量抽氣速率，試驗罩、真空計和流量計應(yīng)與泵連接。

關(guān)閉微調(diào)閥5，開泵運轉(zhuǎn)，待泵運轉(zhuǎn)穩(wěn)定并達(dá)到極限壓力后，開啟微調(diào)閥5，把試驗氣體引入罩內(nèi)，

建立一個設(shè)定的平衡壓力，用真空計測其壓力值，同時用流量計測量氣體流量。按規(guī)定進(jìn)行抽氣速率的計算。測量應(yīng)從接近極限壓力的適當(dāng)壓力值開始，直到適合泵結(jié)構(gòu)特點的允許壓力。每個壓力數(shù)量級內(nèi)至少測三點（其分布基本符合2.5、5、10）。若測一次流量時間較長，取60s為一周期，壓力應(yīng)重復(fù)測量，并取其平均值。如果最高與最低之差大于平均值10%，流量和壓力都應(yīng)重新測量。