應用案例：

1 水冷板真空氦檢的氦氣回收

檢測方法介紹

氦氣回收系統(tǒng)從被檢工件腔體收集部分氦氣，收集到的氦氣首先會通過泵組抽到一個低壓儲存罐，然后，低壓儲存罐中的氦氣流入壓縮機，通過壓縮機進入高壓供應罐，從而確保回收的氦氣在接下來的測試中，重復使用。根據測試的方法不同，氦氣回收率可達98%。當回收回來的氦氣濃度不足預設濃度時，可以通過補充純氦來保證罐體內氦氣濃度和壓力。

優(yōu)點

1 大幅降低氦氣消耗，降低氦氣消耗成本；

2 節(jié)省存儲氦氣瓶的空間；