NFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計(jì)目前是最快速、高度準(zhǔn)確的真空儀器。響應(yīng)時(shí)間不到 2 ms，配備 EtherCAT 現(xiàn)場(chǎng)總線接口，開拓了全新的應(yīng)用領(lǐng)域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有無與倫比的零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附 INFICON 已獲專利的獨(dú)特傳感器屏蔽，用于保護(hù)真空計(jì)，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe 使用創(chuàng)新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和獨(dú)特的速度性能，可實(shí)現(xiàn)史無前例的生產(chǎn)力提升，使其成為同類產(chǎn)品中最先進(jìn)的真空儀器。

益處

• 高生產(chǎn)力 - 響應(yīng)時(shí)間快于 2ms

• 靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場(chǎng)總線

• 使用壽命長 - 經(jīng)驗(yàn)證的陶瓷傳感器

• 忘記重新校準(zhǔn) - 90ppm/年全方位穩(wěn)定性

典型應(yīng)用

• 原子層沉積

• 高速過程控制

• PVD、CVD、刻蝕

• 一般高溫真空應(yīng)用