UL1000 Fab將工廠環(huán)境系統(tǒng)內(nèi)的易用性、泄漏檢測效率和機動性作為優(yōu)先考慮因素，在整個測量范圍內(nèi)都能做出極快的漏率響應。UL1000 Fab采用經(jīng)過優(yōu)化的真空結構，兼具高速氦抽速與高進氣口壓強的優(yōu)點，漏率穩(wěn)定性降低至前所未有的5 × 10-12 atm cc/s。專有軟件I?CAL (漏率智能算法)解決了低漏率范圍內(nèi)響應時間較長的問題，因為UL1000 Fab能夠對所有漏率范圍快速做出響應。通過增加TC1000測試室附件，UL1000Fab氦氣泄漏檢測儀能夠簡單、快速、精確地測試密封件，例如集成電路組件、石英晶體和激光二極管(根據(jù)MIL-STD 883標準，方法1014)。

優(yōu)勢

?檢測效率高

通過縮短抽空時間和響應時間，可最大程度地加快檢漏速度。

選擇本底抑制(I·ZERO)功能，可避免反復多次檢漏。

?高成本效益

配備經(jīng)久耐用的雙燈絲離子源(保修期3年)和逆流式真空系統(tǒng)，降低總體擁有成本(TCO)。

?易于使用和集成

采用緊湊型設計，方便進入空間受限的維修區(qū)域。

配備旋轉顯示單元、聲光泄漏提示及可選配的遙控器，使用簡便。

?低維護

內(nèi)置測試漏孔帶自動校準程序，維護量低。

應用

泄漏測試對象：

?元件

?工藝室

?次組裝件

與以下設備一同使用：

?半導體工具

?平板顯示工具

?密閉性封閉電子元件的試漏

先進的軟件自動泄漏測試功能

此功能控制測試周期，并允許輸入以下測試參數(shù)：

?測量周期時間

?泄漏率設定值

?測試的試件數(shù)

測試周期的狀態(tài)始終可以在顯示器上監(jiān)控。可選試驗箱TC1000(TC1000試驗箱 [} 12])在便于使用的工作站中轉動UL3000，以測試密封部件。

箱蓋關閉時，測試自動開始。檢測周期短(10-9 mbar l/s，時間不超過5秒)。測試狀態(tài)始終可以在顯示器上監(jiān)控。經(jīng)過調(diào)整的周期時間后，測試停止，并將箱體排氣。可選擇的“待機”模式可在停止泄漏測試的同時保持箱內(nèi)處于真空狀態(tài)。保護功能防止重大泄漏造成的氦污染，并確保連續(xù)運行。