應(yīng)用案例：

1 水冷板氣密性檢測(cè)

2 其他；如電芯、熱交換器等

檢測(cè)方法介紹

將充滿氦氣的被測(cè)工件置于一個(gè)密閉的真空腔體中（低于0.1KPa），被測(cè)工件內(nèi)部氣壓根據(jù)檢測(cè)要求設(shè)定，在真空腔體上接氦質(zhì)譜檢漏儀，如果工件有泄露，則被測(cè)工件內(nèi)部的氣體會(huì)通過缺陷孔泄漏到真空腔體中，腔體內(nèi)氦分子的濃度就會(huì)升高，通過檢測(cè)真空腔體內(nèi)氦濃度的變化就可以推斷被測(cè)工件的泄露情況，這就是真空氦檢法。

優(yōu)點(diǎn)

1 非常靈敏，可檢測(cè)低至10-10mbar.L/s的泄漏，滿足業(yè)內(nèi)冷板氣密檢測(cè)要求；

2 使用高濃度氦氣，氦氣可回收，氦氣使用成本低；

3 節(jié)拍快，滿足業(yè)內(nèi)生產(chǎn)節(jié)拍的要求；

4 測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確可靠，且重復(fù)性高，波動(dòng)在10%內(nèi)，不受溫度、濕度、體積形變等影響；

5 是一種整體法測(cè)試，被測(cè)工件所有的泄漏均能檢測(cè)到，不會(huì)出現(xiàn)漏檢；

該方法適合哪些待檢產(chǎn)品？

1 能承受較大的內(nèi)外壓差

2 氣密檢測(cè)要求高