氦質(zhì)譜檢漏的基本原理是利用氦氣的低滲透性和惰性來檢測工件的泄漏情況。將氦氣注入待檢工件中，并將氦檢儀器連接到泄漏點附近。通過控制氦氣的流量和壓力，使得氦氣從泄漏處滲透出來并擴散到周圍環(huán)境中。同時，氦檢儀器會實時檢測周圍環(huán)境中氦氣濃度變化。當檢測到氦氣濃度超過設定的閾值時，就可以確定泄漏的位置和大小。

常用的氦檢方法有：

1 常壓累積氦檢法

2 真空氦檢法

3 吸槍法

4 噴氦法（負壓法）

5 壓氦法