INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計(jì)系列的高精度 溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)可以在惡劣的 生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能。 高級(jí)數(shù)字電子元件用于改進(jìn) 真空計(jì)的性能，具有一鍵調(diào)零功能 和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供 優(yōu)異的零點(diǎn)穩(wěn)定性， 預(yù)期使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán)（包括氣壓突變）。 獨(dú)特的傳感器屏蔽（正在申請(qǐng)專利）用于保護(hù) 真空計(jì)，使其免受加工污染。 堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字 電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度 補(bǔ)償。 CDG025D 電容隔片真空計(jì)為開(kāi)機(jī)后快速穩(wěn)定 以及從大氣氣壓中快速恢復(fù)的功能樹(shù)立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

CDG025D，CDG025D-S 0.1...1000乇/毫巴

益處

• 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托

• 電源接通后快速穩(wěn)定

• 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

• 防腐陶瓷傳感器

• 卓越的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性

• 溫度補(bǔ)償

• 傳感器防污染保護(hù)

• 一鍵調(diào)零功能

• 電源范圍廣

典型應(yīng)用

• 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

• 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備

• 工業(yè)真空設(shè)備

• 常規(guī)高精度壓力測(cè)量