SKY? CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 壓力計是實現(xiàn)高精確總壓測量與控制的理想之選。CDG045D 真空計溫度控制在 45 °C，具有卓越的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)卓越，極具成本效益，適用于苛刻的真空應(yīng)用。

益處

• 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗

• 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點

• 輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號歸零指令，可調(diào)零點偏移

• 診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)

• 兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命

• 卓越的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

• 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

• 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程

• 化學(xué)和腐蝕性真空過程

• 一般薄膜和真空過程

• 作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測試儀器是否符合國際標(biāo)準(zhǔn)

• 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測量可追溯性