INFICON Edge 電容膜片真空計(jì)屬于高精準(zhǔn)真空測(cè)量?jī)x器，專為 苛刻的生產(chǎn)環(huán)境而設(shè)計(jì)。經(jīng)驗(yàn)證的溫度控制、防腐蝕超純陶瓷傳感器可長(zhǎng)期提供 卓越的滿量程穩(wěn)定性和最先進(jìn)的零點(diǎn)穩(wěn)定性。Edge 采用 INFICON 獲得專利的 獨(dú)特傳感器屏蔽，可保護(hù)真空計(jì)在使用過(guò)程中產(chǎn)生不需要的附帶結(jié)果。 先進(jìn)的電子設(shè)備為所有應(yīng)用提供各種可配置的信號(hào)條件以及可選的 EtherCAT 現(xiàn)場(chǎng)總線接口。 創(chuàng)新的加熱概念確保了冰涼的接觸表面并節(jié)省了寶貴的工具空間。 INFICON Edge 是同類產(chǎn)品中體積最小的真空測(cè)量?jī)x器。

Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴

Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴

益處

• 設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間

• 易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)

• 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

• 診斷端口用于快速維修和維護(hù)

• 兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命

• 卓越的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最苛刻的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

• 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

• 用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過(guò)程