根據(jù)示蹤氣體測量技術(shù)的使用場所和使用特點。檢漏儀對示蹤氣體的要求有以下幾點：

1.無害：不能對人體、環(huán)境、被檢件、檢漏儀造成污染、傷害或是存在安全隱患；

2.質(zhì)量輕，惰性氣體，能穿透微小細縫：

3.化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會起化學反應(yīng)或易燃易爆；

4.最好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

氦氣作為惰性氣體完美符合以上條件。

目前，絕大部分檢漏儀的示蹤氣體采用的是氦氣。一般檢漏都用氦氣（He）作為示蹤氣體，也有用氫氣（H2）作為示蹤氣體的。氫和氦都是比較理想的示蹤氣體:空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運動速度快，同等條件下， 直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題（存在爆炸風險），所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。

氦質(zhì)譜檢漏儀選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下

1.氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2.氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3.氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。

4.在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開。定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾。因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5.氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附，這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。