1 精度高，氦質(zhì)譜檢漏可以達到 5E-12 mbarL/s 甚至更高的精度，可以通過標準漏孔進行計量，并且重復性非常好。

2 快速，盡快定位并修復漏點可以節(jié)省時間。氦質(zhì)譜檢漏能夠快速得到結(jié)果，響應時間一般僅需幾秒至幾十秒。

3 可定位漏點，噴氦法，吸槍法等比較常見的氦質(zhì)譜檢漏方法可以確定泄漏的位置，便于后期處理漏孔或改進工藝。

4 不受溫度、產(chǎn)品形變、內(nèi)表面放氣等的影響，不會弄濕或污染工件。